機能材料事業部 取扱製品

半導体ウエーハ用ケース

半導体のウエーハメーカーとデバイスメーカー間の輸送に使われる輸送容器とデバイスメーカー工程内で使用される工程内容器。徹底した材料選定技術、精密成形技術、評価技術などを複合して製品設計が行われており、パーティクル汚染を極度に嫌う半導体業界のニーズに対応しています。

製品ラインナップ

300mmウエーハ工程内容器
FOUP300EX

FOUP300EX (FOUP: Front Opening Unified Pod)

  • 洗浄乾燥時間を短縮する一体成形構造体
  • ESDシェル
  • 卓越したシール性
  • 安全なローラーラッチ機構
  • ロングライフ
  • SEMI規格準拠

自動化対応300mmウエーハ輸送容器
MW300GT

MW300GT (FOSB: Front Opening Shipping Box)

  • 輸送中のシール性を保つ高剛性構造
  • マニュアル開閉機能付き
  • 洗浄乾燥時間を短縮するデザイン
  • SEMI規格準拠

300mmウエーハ輸送容器

MW300G (FOSB)

200mmウエーハ輸送容器

MW200N

150mmウエーハ輸送容器

MW150M

MW150N

125mmウエーハ輸送容器

MW125N

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